硅基波导谐振腔特性分析与实验研究

摘要

给出了硅基二氧化硅波导谐振腔的整体设计结构和谐振腔的传递函数及考虑光源线宽情况下特征参数的数学表达式.仿真分析了耦合器分光比、波导传输损耗、谐振腔腔长、激光器谱宽对谐振腔特性的影响.研究了硅基二氧化硅波导的加工工艺并针对其关键因素——光刻工艺实验验证了其曝光时间与显影对波导芯片的影响.最后对比了实验测试结果与理论仿真谐振曲线,吻合度良好.