热氧化硫化锌薄膜制备高质量纳米ZnO薄膜的表征

摘要

本文报道了利用低压-金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)技术生长ZnS薄膜,然后,将ZnS薄膜在氧气中于不同温度下进行热氧化制备高质量的纳米ZnO薄膜.采用有效的手段对样品的质量表征:X-射线衍射(XRD)结果表明,纳米ZnO薄膜具有六角纤锌矿多晶结构.喇曼光谱观测到典型的多声子共振过程.在光致发光(PL)光谱中,自由激子(FE)和束缚激子(BE)发射都很明显.低温下,束缚激子(BE)复合发射占主要地位,而自由激子(FE)复合发射也容易观察到.这些结果都说明我们制备的样品是高质量的.