脉冲磁控溅射制备硼掺杂氧化锌纳米薄膜的光学特性研究

摘要

采用脉冲磁控溅射法制备硼掺杂氧化锌（ZnO：B）纳米薄膜，研究了其结构和光学特性，经XRD分析，ZnO：B为多晶纳米薄膜，具有六方钎锌矿结构，薄膜沿着c轴取向择优生长。薄膜在可见光和近红外光谱区的透光性很好，其中在可见光区的平均透光率可达84％以上，而在近红外区的透光率随着波长增加而逐渐降低至45％。在可见光区，ZnO：B纳米薄膜的光学常数随波长的变化很小且数值基本趋于恒定，而在紫外区，光学常数随波长的变化很明显，并且在367nm和397nm附近存在两个紫外发光峰。