透过封装材料来检验MEMS和MOEMS的表面特性

摘要

已经证实光学轮廓仪能成功地检验未封装MEMS器件的表面特性.可是,大部分器件必须在不同条件的封装之后,如真空、升高温度或其它特殊环境,才能做最终检验.文章描述了一种新型的干涉表面轮廓技术,用于在高倍率下透射封装介质来测量器件表面的特性.三项引入技术包括校正象差和长工作距离的物镜、有效照明系统、色散补偿技术.测试数据表明标准物镜和色散补偿物镜所测得的结果极为相近.