MOEMS光开关封装的设计与制作

摘要

全光网络解决了目前光电交换的瓶颈，光开关是实现全光网络中的关键技术之一。MOEMS光开关技术以其无法比拟的技术优势，将可能在下一代全光通信网络中起到主导地位。本论文正是围绕光开关的封装工作展开的，主要有以下四部分内容： 首先，了解了光开关的发展进程，以及目前各种光开关的现状。 其次，理论上研究了单模光纤激光高斯光束的传输特性；分析了球透镜(C-lens)准直器和自聚焦透镜(Grin-lens)准直器的工作原理；计算了球透镜准直器准直效果与束腰半径、束腰位置以及光纤和透镜端面之间的关系；在考虑光束直径、工作距离、数值孔径N.A等参数的基础上，设计了光路准直、耦合系统。 接下来研究了硅的各向异性腐蚀特性；探讨了不同腐蚀溶液以及同一腐蚀液不同实验条件的区别；总结了腐蚀深度与腐蚀时间的关系；摸索了具体实验条件；解决了掩膜选择、凸角损伤等问题；制备了符合要求的准直、耦合封装系统。 最后，分析了影响光开关插入损耗的主要因素，并采用了相应的解决措施。

目录

文摘

英文文摘

声明及学位论文知识产权权属声明

第一章绪论

第二章准直、耦合系统理论设计

第三章准直、耦合系统制作技术基础

第四章MOEMS光开关准直封装的技术研究

第五章MOEMS光开关插入损耗的分析

总结

致谢

作者简历

攻读硕士期间发表的学术论文及申请发明专利情况