聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计

摘要

利用聚酰亚胺（PI）优良的机械、绝缘、耐热等性能，设计出基于PI膜的磁控光开关．给出合理的线圈宽度与间隙宽度，提出了八边形的线圈绕组结构。计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系，并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化．在驱动电压为2V时，自由端位移达到2mm．