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纳米硬度计及其在微机电系统中的应用

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摘要

微机电系统(MEMS)技术的迅速崛起,推动了对其所用材料和结构的力学性能研究.本文简要介绍纳米硬度技术的发展、理论模型和MTS公司的Nano Indenter XP系统的配置、测量原理及功能.并根据我们的一些研究结果,说明它在微机电系统中的应用.

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来源
《现代科学仪器》|2002年第1期|32-37|共6页
作者
张泰华; 杨业敏;
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作者单位

中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京,100080;

中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京,100080;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械测定法;硬度计量;
关键词
微机电系统; 纳米压痕; 纳米划痕;
入库时间 2023-07-25 14:21:11

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