碳纳米管在微机电系统(MEMS)中的应用研究

叶雄英; 郭琳瑞; 周兆英

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碳纳米管在微机电系统(MEMS)中的应用研究

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碳纳米管研究的不断发展为其与微机电系统(MEMS)的结合提供了可能,这种结合"Top-down"与"Bottom-up"的方法是微米/纳米技术的一个发展趋势.介绍了碳纳米管的特性及其在MEMS上的潜在应用,综述了碳纳米管的制备方法以及与MEMS技术的兼容性,列举了目前一些碳纳米管与MEMS结合研究的典型,并对其发展趋势进行了分析.

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来源
《微细加工技术》|2004年第1期|9-17|共9页
作者
叶雄英; 郭琳瑞; 周兆英;
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作者单位

清华大学,精密仪器及机械学系,北京,100084;

清华大学,精密仪器及机械学系,北京,100084;

清华大学,精密仪器及机械学系,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.1+8;
关键词
微机电系统(MEMS); 碳纳米管(Carbon Nanotubes); 纳机电系统(NEMS);
入库时间 2023-07-26 00:15:44

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