金属辅助刻蚀制备黑硅形貌及光吸收率的研究

摘要

进行系统研究以确定银粒子的浓度对金属辅助化学蚀刻(MaCE)制备黑硅时,对黑硅的形貌以及它们的所得的光吸收特性的影响。分别用0.01 mol/L、0.02 mol/L、0.03 mol/L的硝酸银和氢氟酸的混合溶液进行银粒子的沉积,然后使用相同实验参数进行刻蚀来制备N型硅的黑硅结构。通过扫描电镜(SEM)来测试黑硅的表面形貌,用积分球装置测试黑硅的光吸收率。从实验结果上可以观察到,当银粒子沉积过程中银粒子的浓度上升时,在沉积过程中银粒子发生聚集现象,使得所制备的黑硅的孔径变大,在可见光及近红外范围的光吸收率有所提升。