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用X射线干涉仪检定亚纳米级位移量

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正一、前言"纳米技术"是一门应用新学科,牵涉到许多科学和工程领域。为微电子电路的生产,光学记录和检索机的制造,X 射线天文反射镜的制造和遗传工程中的 DNA 的直接控制等。它们的精度都在100nm 到亚纳米级范围内。有许多方法可以实现纳米级的位移灵敏度,如光学干涉条纹的分度,光学角度变位移的积分,差

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来源
《现代测量与实验室管理》 |1990年第6期|P.3-534|共4页
作者
D.K.Bowen; 冯克猷;
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类计量学;
关键词
干涉仪; 纳米级; 射线; 传感器; 检定系统; 光学记录; 试验台; 干涉条纹; 纳米技术; 新学科;

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