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SYSTEM FOR OBJECT ANGULAR DISPLACEMENT COMPENSATION OF DOUBLE-REFLECTING INTERFEROMETRIC DISPLACEMENT METERS

机译:双折射干涉仪位移量的对象角位移补偿系统

摘要

the system of compensation for the angular variance of двухлучевых fringe size measures displacement, содержаща  optical фокусирующую system располож енную in an objective beam интерферометра,отличающ
机译:补偿两束条纹大小的角度变化的补偿系统可测量位移,该系统包含位于干涉仪物镜中的光学聚焦系统,

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