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Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany
Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany
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1.
Study of sub-pixel image processing algorithms for MEMS in-plane vibration measurements by stroboscopic microscopy
机译:
频闪显微镜在MEMS平面振动测量中的亚像素图像处理算法研究
作者:
Adel Hafiane
;
Sylvain Petitgrand
;
Olivier Gigan
;
Samia Bouchafa
;
Alain Bosseboeuf
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
microscopy;
image processing;
vibrations;
MEMS;
2.
Ultrasonic wave propagation phenomena at material interfaces of microstructures
机译:
超声波在微结构材料界面处的传播现象
作者:
Jacqueline Vollmann
;
Dieter M. Profunser
;
Andreas H. Meier
;
Juerg Dual
;
Max Doebeli
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
material interfaces;
diffusion;
laser acoustics;
MEMS inspection;
wave propagation;
in-depth profiling;
3.
Simultaneous mapping of phase and amplitude of MEMS vibrations by microscopic interferometry with stroboscopic illumination
机译:
通过频闪照明的显微干涉法同时映射MEMS振动的相位和幅度
作者:
Sylvain Petitgrand
;
Alain Bosseboeuf
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
microscopy;
interferometry;
MEMS;
vibrations;
4.
Nano-scale displacement measurement of MEMS devices using fiber optic interferometry
机译:
使用光纤干涉仪测量MEMS器件的纳米级位移
作者:
C. W. Lee
;
X. M. Zhang
;
S. C. Tjin
;
A. Q. Liu
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
MEMS;
optic interferometry;
MEMS measurement;
5.
Optimizing Deep Lithography with Protons for the fabrication of 2D fiber alignment structures
机译:
使用质子优化深光刻技术,以制造2D光纤对准结构
作者:
Rafal Krajewski
;
Bart Volckaerts
;
Heidi Ottevaere
;
Pedro Vynck
;
Jan Watte
;
Daniel Daems
;
Malgorzata Kujawinska
;
Alex Hermanne
;
Hugo Thienpont
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
6.
An integrated opto-mechanical sensor for in situ characterisation of MEMS: the implementing of a read out architecture
机译:
集成的光电机械传感器,用于MEMS的原位表征:读出架构的实现
作者:
C. Gorecki (SPIE Fellow)
;
A. Sabac
;
P. Bey
;
K. Gut
;
A. Jacobelli
;
T. Dean
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
microsensors;
integrated optics;
MEMS;
mach zehnder interferometry;
7.
Micro/Nano Moire Methods
机译:
微米/纳米莫尔条纹法
作者:
Anand Asundi
;
Shang Haixia
;
Xie HuiMin
;
Li Biao
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
SEM scanning moire method;
AFM moire method;
MEMS;
electronic package;
strain;
8.
Mechanical characterization of thin membranes with picosecond ultrasound
机译:
皮秒超声对薄膜的机械表征
作者:
Dieter M. Profunser
;
Jacqueline Vollmann
;
Juerg Dual
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
pump-probe technique;
material properties;
membrane;
picosecond ultrasound;
MEMS characterization;
9.
Miniaturized sensor head for distal holographic endoscopy
机译:
远端全息内窥镜的微型传感器头
作者:
R. Klattenhoff
;
E. Kolenovic
;
W. Osten
;
C. von Kopylow
;
W. Jueptner
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
digital holography;
endoscopy;
shape measurement;
deformation measurement;
10.
MEMS deep RIE fabrication process and device characterization
机译:
MEMS深度RIE制造工艺和器件表征
作者:
J. Li
;
Q. X. Zhang
;
A. Asundi
;
A. Q. Liu
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
DRIE fabrication;
MEMS;
SOI;
optical switch;
11.
Photonic Bandgap Crystals - A Breakthrough for New Generation Integrated Optical Device
机译:
光子带隙晶体-新一代集成光学器件的突破
作者:
A. Q. Liu
;
A. Asundi
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
photonic crystal;
photonic bandgap (PBG);
MEMS;
nano-fabrication;
integrated optical devices;
12.
Testing optical surfaces by high precision diffractive Null lenses with integrated reference surface
机译:
通过具有集成参考面的高精度衍射Null透镜测试光学表面
作者:
A.G. Poleshchuk
;
V. Cherkashin
;
J.-M. Asfour
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
optical testing;
inteiferometry;
fizeau interferometer;
computer-generated holograms;
diffractive elements;
asphere;
13.
High-speed temperature measurements using novel optical fibre-based systems
机译:
使用新颖的基于光纤的系统进行高速温度测量
作者:
F. A. Bezombes
;
D. R. Allanson
;
D. R. Burton
;
M. J. Lalor
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
fibre bragg grating;
temperature sensor;
two gratings techniques;
DWDM technique;
high speed grinding;
14.
MEMS optical switch control and integrated packaging
机译:
MEMS光开关控制和集成封装
作者:
H. Cai
;
C. W. Chan
;
Y. X. Wang
;
C. Lu
;
A. Asundi
;
A.Q. Liu
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
MEMS;
optical switch;
digital control;
15.
Active micro-elements testing by interferometry using time-average and quasi-stroboscopic techniques
机译:
使用时间平均和准频闪技术通过干涉法进行有源微元素测试
作者:
Leszek Salbut
;
Krzysztof Patorski
;
Michal Jozwik
;
Jacek Kacperski
;
Christophe Gorecki
;
Alain Jacobelli
;
Thierry Dean
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
optical method of testing;
time averaged interferometry;
stroboscopic interferometry;
vibration studies;
active microelements;
MEMS/MOEMS;
16.
Detection of patch debonding in composite repaired cracked metallic specimens, using optical fibers and sensors
机译:
使用光纤和传感器检测复合材料修复的破裂金属样品中的贴片剥离
作者:
George J. Tsamasphyros
;
George N. Kanderakis
;
Nikos K. Furnarakis
;
Zaira P. Marioli-Riga
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
composite patch repair;
composite materials;
optical fibers;
smart composite patches;
17.
Application of microscopic interferometry techniques in the MEMS field
机译:
显微干涉测量技术在MEMS领域的应用
作者:
Alain Bosseboeuf
;
Sylvain Petitgrand
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
MEMS;
optical interferometry;
interferogram analysis;
mechanical testing;
18.
Interferometric measuring device with 2D analyzing for real-time and in situ plasma etching in the production of microsystem components
机译:
具有二维分析的干涉测量设备,用于在微系统组件生产中进行实时和原位等离子体蚀刻
作者:
Claus Westermann
;
Mai Chen
;
Gottfried Frankowski
;
Wilfred Jonh
;
Harald Wittrich
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
laser interferometer;
2D interference stripes analyzing;
plasma and dry etching control;
19.
In-plane optical measurement of vibrations of MEMS: gradient methods using interferometry and image processing
机译:
MEMS振动的面内光学测量:使用干涉法和图像处理的梯度方法
作者:
B. Cretin
;
B. Serio
;
P. Vairac
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
vibrometer;
in-plane vibration;
interferometer;
optical probe;
camera;
image processing;
MEMS;
MOEMS;
20.
Investigation of silicon MEMS structures subjected to thermal loading by digital holography
机译:
通过数字全息研究热负载下的硅MEMS结构
作者:
Pietro Ferraro
;
Sergio De Nicola
;
Andrea Finizio
;
Giuseppe Coppola
;
Mario Iodice
;
Simonetta Grilli
;
Carlo Magro
;
Giovanni Pierattini
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
digital holography;
MEMS testing;
focus tracking;
interferometry;
21.
Interferometry System for Out-of-plane Microdisplacement Measurement: Application to Mechanical Expertise of Scratch Drive Actuators
机译:
用于平面外微位移测量的干涉仪系统:在刮板驱动执行器的机械专业知识中的应用
作者:
Michal Jozwik
;
Christophe Gorecki
;
Patrice Le Moal
;
Eric Joseph
;
Patrice Minotti
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
electrostatic actuators;
contact interactions;
loading characteristics;
interferometry;
out-of-plane displacements measurements;
22.
MICROINTERFEROMETRIC TOMOGRAPHY OF PHOTONICS PHASE ELEMENTS
机译:
光子相元素的微干涉层析成像
作者:
Pawel Kniazewski
;
Witold Gorski
;
Malgorzata Kujawinska
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
optical fiber;
microinterferometric tomography;
3D refractive index distribution;
phase elements;
23.
Micromotion analysis by deep-UV speckle interferometry
机译:
深紫外散斑干涉法进行微动分析
作者:
Aswendt
;
Petra
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III Jun 23-25, 2003 Munich, Germany》
|
2003年
关键词:
speckle interferometry;
deep ultraviolet laser;
microsystems;
MEMS;
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