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AIGaN紫外光电导探测器的研究

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摘要

在蓝宝石(0001)衬底上采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法生长了未掺杂的Al0.15Ga0.85N外延层,并以此为材料制作了光电导探测器,实验发现探测器具有显著的紫外光响应.分析了探测器持续光电导效应(PPC)的产生机理.

著录项

来源
《现代电子技术》 |2004年第6期|1-2,5|共3页
作者
王峰祥; 郝跃;
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作者单位

西安电子科技大学,微电子研究所,陕西,西安,710071;

西安电子科技大学,微电子研究所,陕西,西安,710071;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微处理机;
关键词
AlGaN; 光电导探测器; 紫外光; PPC;

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