基于分区独立温度控制的探针台卡盘温度均匀性研究

摘要

在半导体测试的高低温测试中需要有效地保证探针台卡盘表面温度的均匀性.利用基于有限元方法的仿真软件ANSYS Workbench对探针台卡盘冷却层进行建模,研究表面温度场分布情况.同时,对探针台卡盘表面各区域进行温度测试获取探针台卡盘温度分布.仿真结果和实验结果一致,表明探针台卡盘表面中心位置温度最高,距离卡盘中心位置距离越远,温度越低.基于现有探针台卡盘均匀加热下表面温度分布的状况,提出加热板实施分区独立温度控制,从而改善探针台卡盘表面温度的均匀性,提高探针台高低温测试的精确性.