高钴硬质合金基体上生长金刚石薄膜组织结构及成分的研究

摘要

采用XRD,SEM,Raman光谱仪等分析检测手段,研究了YG15硬质合金基体经表面二步法浸蚀后,在其表面用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构、组织及化学纯度等.结果表明:硬质合金基体表面一定深度范围内Co含量的变化,对金刚石薄膜的晶体结构取向、组织形态及化学纯度等有很大影响.CVD沉积温度从900 ℃降至800 ℃,后一温度下的金刚石薄膜的晶粒尺寸是前一温度下的(1)/(5).沉积温度降低至700 ℃左右时,薄膜的金刚石纯度大大降低.