硬质合金(YG<,6>)基体上生长金刚石薄膜组织结构及成份的研究

摘要

用XRD、SEM及Raman光谱仪等检测手段,研究了经表面二步法浸蚀后,YG<,6>硬质合金基体上用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构、组织及化学纯度.结果表明:(1)随着硬质合金基体表面一定深度范围内Co含量的增加,金刚石薄膜晶体结构由明显的{111}面取向,逐步向{111}和{110}面的混合取向转变.(2)SEM形貌观察发现,硬质合金基体表面一定深度范围内Co含量愈低,沉积出的金刚石薄膜组织形态愈接近于菱形,而{111}和{110}面混合取向的薄膜组织形态呈球状化.(3)Raman光谱测定结果表明,球状化的薄膜组织,有一定的非晶碳成份,其金刚石的化学纯度较低.(4)随着CVD沉积温度的降低,薄膜的晶粒组织明显减小,但沉积温度降低至约700°C时,薄膜的金刚石纯度大大降低.