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谌贵辉; 张万里; 彭斌; 蒋洪川;
西昌学院物理系,西昌,615002;
电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054;
微机械系统; 致动器; 微马达; 原理;
机译：圆柱形超声线性微执行器的驱动机理，设计，制造过程和实验
机译：圆柱形超声线性微执行器的驱动机理及实验实现
机译：多晶硅电热微执行器模型及微尺度效应研究
机译：一种新型超声线性微致动器驱动机理研究
机译：使用集成的微执行器优化微通道中的混合。
机译：基于剪切压电堆的旋转微执行器的设计与实验研究
机译：使用微执行器进给控制系统开发微EDM =使用微执行器作为切割贿赂系统唤醒微EDM
机译：5马力压缩角流中非定常冲击强迫湍流分离驱动机理及控制的实验研究
机译：静电微执行器，静电微执行器装置以及静电微执行器的驱动方法
机译：相变型微执行器和使用该微执行器的微执行器和微泵致动室的温度控制方法
机译：通过防止不需要的微执行器运动障碍和防止微执行器在制造过程中的误伤和损坏来改善压电微执行器的操作的系统和方法
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