退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
宁瑾; 刘忠立; 刘焕章; 葛永才;
中国科学院半导体研究所微电子中心传感技术国家重点实验室,北京,100083;
多孔硅; 牺牲层; 电容式微传声器;
机译:单深波纹膜片技术的硅电容传声器设计与制造
机译:波纹膜片单芯片微型硅电容传声器的理论和实验研究
机译:波纹膜片技术设计和制造硅电容传声器
机译:使用解析模型模拟低频电容式微加工超声换能器(cMUT)和硅电容传声器
机译:硅膜和电容式微传感器的机械性能。
机译:多孔硅微腔:合成表征和在光子条形码设备中的应用
机译:多孔板的力学性能及其在硅电容传声器中的应用
机译:热解氧化物和聚合物在薄膜高能电容器制备中的应用研究
机译:制造MEMS电容器传声器的方法,例如MEMS电容器传声器,包括该MEMS电容器传声器的箔的叠层,包括该MEMS电容器传声器的电子设备以及该电子设备的用途
机译:具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪和控制方法以及用于制备具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪的过程
机译:与电容式微机传声器和传感器相关的方法和设备
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。