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国产CF4＋O2混合气体在Si3N4腐蚀中的应用

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来源
《微电子技术》 |1994年第1期|47-50|共4页
作者
江鸿; 吕军;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类表面处理;
关键词
氮化硅; 腐蚀; 混合气体;

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