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平晶平面度综合测量方法探讨

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摘要

在JJG28-2000平晶检定规程中,对平晶有效直径d范围内的平面度和(2/3)d范围内的平面度均有规定的要求.本文将对此问题进行分析,最后给出了符合现行规程要求的新测量方法,补充了计算公式.

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来源
《计量与测试技术》|2009年第3期|5-8|共4页
作者
宫美望;
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作者单位

青岛市计量测试所,山东,青岛,266071;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计量学;
关键词
平晶; 平面度; 等厚干涉仪; 有效直径;

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