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叶慧敏; 徐晖; 张宏伟; 李丽芳; 高雷;
安钢职工大学,高线厂,烧结厂,安阳,455004;
智能PID控制器; 点火温度; PID调节;
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机译:用于半导体制造设备的温度控制器,用于计算半导体制造中的PID常数的方法以及用于用于半导体制造设备的温度控制器的操作方法
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