微电子机械系统中多能量场耦合问题仿真分析

摘要

在微电子机械系统（MEMS）研究和设计中，微系统数值仿真分析是一个重要研究领域。本文对MEMS中多能量场耦合仿真问题的各种数值分析方法进行了综合评述，分析了该领域目前的研究现状并提出了其今后的发展方向。