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微电子机械系统中多能量场耦合问题仿真分析

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摘要

在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS中多能量场耦合仿真问题的各种数值分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向.

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来源
《中国力学学会第六届全国细观力学学术会议》|2001年|31-34|共4页
会议地点西安
作者
高行山; 林胜勇;
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作者单位

中国力学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类计算机仿真;
关键词
微电子机械系统; 能量场耦合; 数值仿真;
入库时间 2022-08-17 10:23:52

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