硅微麦克风探测模块辐射性能研究

摘要

针对硅微机械电容式麦克风测试模块元器件的材料、结构、表面处理等方面进行了核辐照损伤分析，并对此探测模块在核辐照条件下做测试实验，测试数据分析表明，该硅微机械电容式麦克风探测模块防辐照效果明显，能够满足在高辐照条件下的使用要求。