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负衬底偏压对碳纳米管生长的影响

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摘要

利用负衬底偏压增强热灯丝化学气相沉积系统制备了碳纳米管.用扫描电子显微镜研究了碳纳米管的生长,结果表明碳纳米管的生长随着负衬底偏压的增大先增强,然后减弱,并且出现了部分准直的碳纳米管.分析和讨论了负衬底偏压对碳纳米管生长的影响.

著录项

来源
《材料导报》 |2002年第9期|74-75|共2页
作者
王必本; 徐幸梓;
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作者单位

亚洲大学分子科学与技术系,水原,442-749,韩国;

重庆大学材料科学与工程学院,重庆,400044;

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正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
碳纳米管热灯丝CVD 负衬底偏压;

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