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负偏压在碳纳米管生长过程中的作用研究

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摘要

利用负偏压增强热丝化学气相沉积系统,在沉积有过渡层Ta和催化剂层NiFe的Si衬底上制备得到了碳纳米管.研究发现,负偏压在NiFe层的裂解和碳纳米管的生长都有很大的影响.本文详细分析和讨论了负偏压在碳纳米管生长过程中的作用.

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来源
《第五届中国功能材料及其学术会议》|2004年|2866-2869|共4页
会议地点秦皇岛
作者
王必本; 王波; 朱满康; 张兵; 严辉;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国金属学会;

中国稀土学会;

中国复合材料学会;

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
碳纳米管; 负偏压; 热丝CVD;

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