多孔硅的场发射特性研究

摘要

多孔硅是一种很有前途的场发射材料，研究多孔硅的场发射有着实际的意义。模仿制备了具有弹道电子发射的特殊结构的多孔硅，测试了其场发射性能，比较了腐蚀电流逐渐变小所制备的多孔硅与腐蚀电流不变所制备的多孔硅的场发射性能，发现前者是提高场发射性能的一种有效方法。