超高硬度纳米复合薄膜Ti—Si—N结构的研究进展

摘要

综述了Ti-SiN超硬纳米复合薄膜结构形式的研究进展。介绍了研究者对Si原子在Ti—Si—N中形成的晶界是否为晶态的认识与研究，阐述了Si原子在Ti—Si-N中所形成的界面结构形式的研究现状以及Ti-Si—N薄膜沉积过程中的形成机制，并展望了Ti—Si—N超硬纳米复合薄膜今后的研究方向。