一种具有超高硬度的Si掺杂纳米复合涂层的制备工艺

摘要

本发明公开了一种具有超高硬度的Si掺杂纳米复合涂层的制备工艺，包括以下步骤：（1）基体清洗，包括超声波清洗和离子清洗；（2）TiN过渡层制备：将步骤（1）处理后的基体送到溅射室进行沉积100～200nm的TiN过渡层；（3）TiAlSiN纳米复合涂层制备：将涂覆TiN过渡层后的基材，利用射频阴极控制的TiAlSi复合靶材，沉积2～5μm厚度的TiAlSiN纳米复合涂层。本发明所得TiAlSiN涂层不但具有高于40GPa的硬度，而且具有优良的抗高温氧化性能和耐腐蚀性能，同时本发明涉及的涂层制备方法不仅具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等特点，并且具有生产效率高、能耗低，对设备要求较低等优点，可作为高速、干式切削的刀具涂层和其他领域的保护涂层。