磁控溅射Al掺杂Al2O3薄膜耐蚀性能研究

摘要

采用中频电源反应溅射在Si和SS304不锈钢表面制备两种不同成分的Al-O涂层，利用X射线衍射、扫描电镜、纳米压痕仪、电化学工作站和Cu装饰实验对涂层的结构及性能进行了分析。结果表明：室温下制备的涂层，掺Al后沉积速率是纯Al2O3的10倍，两种非晶涂层截面无明显的形貌特征，纯Al203涂层表面有微裂纹存在，掺杂Al的Al2O3涂层表现出更为优异的耐腐蚀性能，这与其表面的Al发生钝化氧化反应有关。