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碳化硅轻量反射镜的超精密加工

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摘要

运用在线电解磨削技术(ELID)加工大型碳化硅球面镜(口径ф360 mm),设计了一套专用的静压组合夹具用以抑制加工过程中因磨削力引起的工件变形.结合在线面形测量和基于误差补偿的补正加工方法,可以获得面形精度为P-V值0.8 μm、表面粗糙度为Ra7.8 nm的高质量碳化硅球面镜.

著录项

来源
《制造技术与机床》 |2005年第11期|20-22|共3页
作者
戴玉堂; 姜德生; 林伟民; 大森整;
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作者单位

武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室,湖北,武汉,430070;

武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室,湖北,武汉,430070;

理化学研究所素形材工学研究室,日本埼玉县,351-0198;

理化学研究所素形材工学研究室,日本埼玉县,351-0198;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类一般性问题;
关键词
烧结碳化硅; 宇宙望远镜; ELID磨削; 超精密加工;

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