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光学元件亚表面损伤深度及形貌研究

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根据化学蚀刻法,提出了一种光学元件亚表面损伤的检测方法,分别观测了磨削和抛光后K9玻璃蚀刻后的亚表面损伤.研究表明:光学元件磨削亚表面损伤在光学显微镜下的表现形式为弹坑状缺陷和脆性裂纹；光学元件抛光后也产生了亚表面缺陷,其在AFM下的表现形式为细长条纹状划痕.

著录项

来源
《制造技术与机床》 |2013年第10期|74-77|共4页
作者
吴沿鹏; 杨炜; 叶卉; 胡陈林;
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作者单位

厦门大学物理与机电工程学院,福建厦门361005;

厦门大学物理与机电工程学院,福建厦门361005;

厦门大学物理与机电工程学院,福建厦门361005;

厦门大学物理与机电工程学院,福建厦门361005;

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正文语种 chi
中图分类表面质量;
关键词
光学元件; 磨削; 抛光; 亚表面损伤; 蚀刻; 检测;

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