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对真空环境镀膜机器人技术条件的分析

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介绍了一种用于真空环境下的真空镀膜机器人,并对其主要技术指标及在真空环境下机器人的所需的技术条件进行了分析论述.

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来源
《制造业自动化》 |2005年第3期|73-75|共3页
作者
王锡哲; 白学普;
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作者单位

兰州真空设备有限责任公司,兰州,730050;

北京机械工业自动化研究所,北京,100011;

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正文语种 chi
中图分类机器人技术;
关键词
真空镀膜; 磁控溅射; 机器人;

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