基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制

摘要

在精密加工领域，为满足某些精密器件和设备的定位需求，研制了一种高精密定位平台。本定位平台以直线光栅尺为整个系统的位置反馈元件，以直流力矩电机为执行元件，采用摩擦驱动的方式，结合PID算法，完成了高精度定位平台的设计。定位平台可以在200mm的行程范围内，平均定位精度可以达到150nm。同时，设计开发了上位机控制程序，使人机交互更加友好。