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高速精密平面定位机构的设计与应用

         

摘要

面向先进电子封装等领域对高速精密定位机构的需求,结合两种新型平面定位机构,对直接驱动并联机构的运动弹性动力学建模与仿真、基于扰动观测器的控制策略进行了研究.

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