微驱动器的研究与发展

摘要

微电子机械系统(Micro Electro Mechanical Systems,简称MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术,微驱动器是MEMS的重要组成部分.首先阐述了几种新型驱动原理:机械化学驱动、渗透驱动、生物能源驱动、仿生驱动、光致伸缩驱动,接下来介绍了常用驱动技术压电驱动、静电驱动、磁致伸缩驱动和气动驱动的当前研究成果.总结了常用微驱动器的驱动方式及特征.提出了目前研究中存在的主要问题,在此基础上简要分析了微驱动器的发展前景.