LDS激光打标机的振镜扫描失真分析及矫正

谢永迅; 麦焯伟; 杜建铭; 龙泉

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LDS(Laser Direct Structuring)激光打标机的振镜扫描系统存在失真问题,从而造成动态聚焦误差.对激光振镜扫描系统失真问题进行了详细理论分析,建立了该振镜扫描系统的数学模型,讨论了振镜动态聚焦误差来源和误差表现,提出了LDS振镜扫描系统误差矫正方法,通过实验验证了该方法的可行性.

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来源
《机床与液压》 |2015年第5期|53-56|共4页
作者
谢永迅; 麦焯伟; 杜建铭; 龙泉;
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作者单位

深圳大学机电与控制工程学院,广东深圳518060;

深圳大学机电与控制工程学院,广东深圳518060;

深圳大学机电与控制工程学院,广东深圳518060;

深圳大学机电与控制工程学院,广东深圳518060;

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正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
LDS; 激光振镜; 动态聚焦; 误差分析; 误差矫正;

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