《半导体制造中气体的使用》即将出版

摘要

由化工部光明情报中心站组织翻译的《半导体制造中气体的使用》一书，主要内容包括：1．气体的主要性质；2．三十种半导体制造用气体的特性，3．气体贮存、使用、运输、泄漏处理、度气处理的注意事项，4．火灾、中毒的紧急处理，以及健康与安全管理，5．容器、