半導体製造工程におけるガス検知警報器＜半導体製造工程での各種ガス測定、ガス漏洩管理について＞

摘要

半導体の製造に欠かすことのできない特殊材料ガス等は、一方で爆発や中毒を引き起こす危険な物質でもある。ここでは、ガス漏洩による事故防止のためのガス検知警報器及びイーサネット技術を利用したガス漏洩管理システムを紹介する。