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孙东丰; 纪玲;
沈阳芯源微电子设备有限公司,辽宁沈阳,110168;
中国有色(沈阳)冶金机械有限公司,辽宁沈阳,110188;
人机界面; 工艺配方;
机译:半导体晶圆制造中具有多个工艺配方的多服务器批处理服务工作站的解析近似值
机译:半导体制造过程中的气体检测警报<半导体制造过程中的各种气体测量和气体泄漏管理>
机译:系统地实现材料效率,分析生产数据,得出工艺配方并激励员工
机译:使用3D图形的具有复杂人机界面的简易Internet浏览系统
机译:半导体制造过程中基于深度学习的虚拟计量
机译:Sub-20制造过程中的方差减少用于垂直栅全能金属氧化物半导体的nm Si圆柱纳米柱场效应晶体管
机译:使用空间建模在半导体制造过程中实现均匀性
机译:半导体制造过程中运动边界的建模。
机译:用于半导体制造系统的工艺配方重置设备和工艺配方重置方法
机译:半导体工厂自动化(PA)系统中使用的用于重置工艺配方的设备具有重置块,如果工艺配方不一致,则该重置块响应于操作员输入的重置命令来重置工艺配方。
机译:验证计算机实现方法和持久性计算机可读介质的半导体工艺配方
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