高纯砷烷的合成与开发进展

摘要

砷化氢(AsH3)是一种重要的电子特气,它主要用于N型半导体的掺杂、离子注入、化学气相沉积(CVD)等.AsH3的工业合成主要有化学合成法和电解合成法2种,后者可在恒定浓度条件下制备AsH3.为满足电子工业所需的高纯度需求,需要对其进行精制.AsH3的精制方法主要包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等,它们均能满足各自不同的需求.同时介绍了AsH3的国内外经济概况和产品标准.