蓝光垂直腔面发射激光器的结构优化

摘要

GaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)的制备技术尚未成熟,其产生激光激射需使3个波长对准,即制备的分布式布拉格反射镜(Distributed Bragg Reflector,DBR)决定的谐振波长、制备的腔长度决定的谐振波长、有源区量子阱InGaN的In掺杂浓度决定的蓝光发光波长。如果以上3个波长对准差,激光输出将大幅度衰减。借助辅助软件对GaN基蓝光垂直腔面发射激光器的分布式布拉格反射镜的周期和膜厚、腔长膜厚作细致的理论研究,得到分布式布拉格反射镜周期数不同、DBR膜厚偏差、腔长膜厚偏差情况下的GaN基蓝光垂直腔面发射激光器的激光输出差异。