先进工艺下集成电路的静电放电防护设计及其可靠性研究

摘要

cqvip:随着科学技术的飞速发展,许多电子设备纷纷问世,其中集成电路得到了十分广泛的应用,尤其是纳米技术的发展,使得集成 电路体积逐渐缩小,结构轻便简单,但功能却更加完善。然而,这种设计也带来了一定的问题,例如集成电路的体积缩小后,绝缘层的厚 度也相对下降,因此对静电的抵抗和防护能力减弱,带来了一系列问题,几乎所有的集成电路都会或多或少地受到静电影响。本文针对这 类问题,提出了先进工艺下集成电路的静电防护设计。