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王建; 徐均琪; 苏俊宏; 李绵; 时凯;
西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 陕西 西安710021;
薄膜; 金属网栅; 透射率; 电磁屏蔽; 屏蔽效能;
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机译:氮结合的氧化f栅介电薄膜和钛基金属栅电极用于双栅应用。
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