裂纹模板法制备的金属网栅透明导电薄膜光电性能

摘要

提出了一种制作金属网栅透明导电薄膜的方法。首先用溶液法制作出掩膜图案，再结合金属沉积法制作出透明导电金属网栅，主要研究了基于随机裂缝模板的透明金属导电薄膜的制备，以及成膜机理和性能的分析。实验结果表明：采用本方法制备的金属网栅透明导电薄膜在紫外可见光波段透过率90％以上，方阻为20Ω/□。相比于传统制作方法，这种方法使得制作成本更低，制作工艺更简单，光透过率高。