双截止透可见带通滤光片研制

摘要

cqvip:为了实现蓝宝石基底上双截止透可见区的特性(截止带波长为0.3~0.4μm、0.8~1.1μm,通带波长为0.4~0.8μm),初始结构采用双截止膜系,可截止近紫外和近红外,在蓝宝石基底的一侧实现可见光高透的宽通带滤光片,选用TiO2和SiO2分别作为薄膜高、低折射率材料,来实现双波段截止的目的,薄膜的设计层数为42层,总厚度是3.6μm,采用电子束蒸发物理气相沉积法来实现镀制,并通过分光光度计测试镀制样品的透射率,测试结果显示截止区(0.3~0.385μm和0.824~1.1μm),平均截止深度分别达到了0.029%和0.127%,通带0.405~0.788μm波段的平均透过率达到97.68%,通带半宽度HFWD为398 nm(402~800 nm),有效地抑制了"半波孔"现象出现,并具有双波段截止和高通带透过率的特点。在环境测试中:薄膜的稳定性良好,膜层间匹配度适宜。因此,该双波段截止透可见滤光片可用于某些极端的环境条件中。