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碲镉汞表面硫化的光电子能谱及器件性能研究

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摘要

利用X射线光电子谱(XPS)对HgCdTe表面的硫化特性进行了研究,发现溴腐蚀后的表面硫化处理可以去掉表面的氧化层,Te富集的程度大大减少,硫化处理后再长硫化锌对器件进行钝化,可以大大减少器件的表面漏电,增加器件工作电压和提高器件性能.

著录项

来源
《激光与红外》|2005年第11期|835-836,848|共3页
作者
汤英文; 庄春泉; 许金通; 游达; 李向阳; 龚海梅;
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作者单位

传感技术国家重点实验室,上海技术物理研究所,中国科学院,上海,200083;

传感技术国家重点实验室,上海技术物理研究所,中国科学院,上海,200083;

传感技术国家重点实验室,上海技术物理研究所,中国科学院,上海,200083;

传感技术国家重点实验室,上海技术物理研究所,中国科学院,上海,200083;

传感技术国家重点实验室,上海技术物理研究所,中国科学院,上海,200083;

传感技术国家重点实验室,上海技术物理研究所,中国科学院,上海,200083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类化合物半导体;表面性质;
关键词
光电子谱; HgCdTe; 表面硫化; 电学性质;
入库时间 2022-08-18 03:12:11

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