产生区宽度模型与产生寿命的确定

摘要

本文建议子一种由两个不同电压扫描率下的饱和电容值确定产生寿命的实验方法。由于这一实验方法只涉及不同电压扫描率下产生区宽度之差,因此无论使用Pierret的改进的产生区宽度模型或是使用简单的Zerbst模型都将给出同样的产生寿命值。实验结果表明,对于同一个MOS电容器样品,从不同电压扫描率组合得到的产生寿命值基本一致。