金刚石粉悬浮液超声预处理促进金刚石成核特性研究

摘要

本工作发展了一种金刚石粉悬浮液超声预处理方法，有效地促进了各种衬底材料特别是绝缘材料上金刚石膜的成核，大大提高成核密度，使硅和石英玻璃上金刚石晶粒密度分别达到１０＾１０和１０＾９ｃｍ＾－２，并使成核的孕育期缩短到５分钟获得了连续的超薄金刚石膜。本文同时提出了这种预处理方法促进成核的机理。