连续激光辐照半导体材料的热效应分析

摘要

根据连续激光加热靶材的实际情况,建立了连续激光辐照半导体材料的二维物理模型,采用P-r交替隐格式有限差分法,利用Matlab软件数值模拟了连续激光辐照半导体材料的温升过程,分析了激光参数和辐照时间对靶材温升的影响.结果表明,连续激光辐照半导体材料时,在辐照时间相同的条件下,激光功率密度越大,材料表面(尤其是其中心)温升越快;连续激光辐照半导体材料时,在激光功率密度相同的条件下,辐照时间越长,材料表面的温升越快.